推进AES分析技术与国际接轨 俄歇电子能谱国标草案征求意见

　　近日，国家标准计划《表面化学分析 俄歇电子能谱 选择仪器性能参数的表述》公布征求意见稿，标准等同采用ISO国际标准ISO 15471:2016，拟于发布后3个月正式实施。
 

　　表面化学分析是一个涉及广泛且不断发展的领域，它在许多科学和技术领域中都扮演着至关重要的角色，包括材料、能源、生物医学、环境等。而俄歇电子能谱仪(Auger Electron Spectroscopy, AES)是是表面分析的最核心仪器之一。它主要依据俄歇效应来分析固体样品表面区域(≈1 nm至10 nm)的化学成分和结构信息，广泛应用于材料分析、催化、吸附、腐蚀、磨损等领域的研究。
 

　　全球有多家厂商生产俄歇电子能谱仪(AES)和扫描俄歇电子显微镜(SAM)。尽管每台仪器的 AES 分析方法的基本原理是相同的，但仪器的具体设计和性能说明的方式各不相同。因此，通常很难比较不同厂商生产的仪器性能。因此AES分析需要提供一个基本项目单，以使所有AES能以共同的方式来表述，并就厂商说明书中所确定的某些项目给出一致、明确的定义。
 

　　为使我国AES分析技术保持与国际接轨，国家标准与ISO同步，全国微束分析技术委员会表面分析分技术委员会于2020年提出将ISO 15471:2016转化为国家标准，并列入国家标准委2022制修订国家标准计划，项目编号为20221773-T-469，即《表面化学分析 俄歇电子能谱 选择仪器性能参数的表述》。标准计划由 TC38(全国微束分析标准化技术委员会)归口，TC38SC2(全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会)执行。
 

　　文件详细表述了如何选择俄歇电子能谱仪的性能参数，包括选用的分析方法、样品制备、系统的构造、电子枪阴极、横向分辨和束流、谱仪强度性能和能量分辨、谱仪能量标、谱仪强度线性、谱仪响应函数、谱仪参数、图像漂移和真空环境等。同时文件也给出涉及的规范性引用文件、术语及定义、符号及缩略语。
 

　　目前，我国本领域仅有GB/T 25187-2010/ISO 15471:2004 IDT 《表面化学分析 俄歇电子能谱 选择仪器性能参数的表述》国家标准。而本标准等同采用国际标准ISO 15471:2016，与国际标准在技术内容方面完全相同。与GB/T 25187—2010相比，除了结构调整和编辑性改动外，本标准主要技术变化包括：更改了术语和定义，“空间分辨”更改为“横向分辨”。